超纯水监测仪对实验室纯水在线监测都采用同一种基本原理，是纯水经过超长波长的紫外光灯会制造氧化有机物，而在有机碳转化为二氧化碳时会令水的电导率有效提升，而总有机碳的参数就可从电导率的转变进行丈量。会保证水中总有机碳在实验要求下TOC含量已经达到域值。因此，不同种类的总有机碳监测在实验室纯水设备中精密而昂贵的，而且体积较大，不易于实验室纯水系统。

　　而其它小型实验室超纯水机对有机碳监测都采用旁路测试。它们在每一段预定时间内把纯水从旁路引到紫外光反应盒内，待水中的有机物氧化成二氧化碳。由二氧化碳产生的电阻率差异在反应盒内或另一外置的电阻表丈量。相反，如选用旁路的工业总有机碳监测系统，就不能达到理想的效果。另外，用旁路的总有机碳监测亦需时间将样本从纯水管道引入反应盒以及完成氧化过程后，总有机碳的数值才能显示到面板上。也就是说，如果纯水中的有机物有任何变化。

　　超纯水监测仪杂质含量的监测：理想的情况下，监控所有潜在的重要杂质，但不知道潜在的杂质有哪些，因而要定期监测所有这些杂质是不实际的。要控制水中的杂质含量，需要确定被监视指标的特性或需要符合的标准：对不同化合物敏感的，可以非常迅速地被监测的，可以连续被监测的，可以被监测并且具有足够的灵敏度和准确度的。

　　超纯水中有机杂质对实验的影响很大，因而，总有机碳（TOC）和电阻率一样，成为水纯度的重要指标。TOC是有机污染物整体含量一个很好的指标。就其本身而言，现在还没有，以后也不会有比TOC更好的指标。有机化合物种类和含量千差万别，与TOC值的对应关系比较不固定，因此，高准确度的TOC监测意义不大；而连续且不会错过有机杂颜含量变化的TOC在线监测尤为重要，TOC的变化可能毁掉一次分析实验。